BenchMark 450 主要技術(shù)參數(shù)
XY 精度:E2=(2.5+5L/1000)微米
Z 精度:E1=(2.0+8L/1000)微米 （ 帶TTL激光和可選5倍鏡頭）
| ? | 英制單位 | 公制單位 |
| 測(cè)量范圍 | 18" X18"X6" | 450"X450"X150mm |
| 尺寸 | 48" X45"X67" | 1210"X1140"X1700"mm |
| 負(fù)載能力 | 65千克 |
| 臺(tái)面分辨率 | 0.5微米 |
| 光學(xué) | 雙重放大 (物鏡 X) |
| ? | 低 | 0.8 | 1.0 | 2.5 | 5.0 | 10.0 | 25.0 | ? |
| ? | 高 | 3.2 | 4.0 | 10.0 | 20.0 | 40.0 | 100.0 | ? |
| 標(biāo)配物鏡 | 1X |
| 可選物鏡 | 0.8X,2.5X,5X |
| 照明 | LED 背光,LED 同軸面光 |
| 可選特征 | 多色可編程環(huán)形燈 (PRL) |
| ? | Ronchi 柵格自動(dòng)ju jiao |
| ? | TTL 激光 | ? | ? |
| ? | 旋轉(zhuǎn)分度工作臺(tái) |