XY 精度: E2=(2.0+4L/1000)um (E2=(1.5+5L/1000)um 高分辨率刻度尺)
Z 線性精度: E1=(1.8+5L/1000)um (E1=(1.4+5L/1000)um TTL激光及可選5X鏡頭)
| 負載能力 | 50kg |
| 分辨率 | 0.1um (可選 0.04umX-Y) |
| 光學 | 雙重放大 (物鏡X) |
| ? | 低 | 0.8 | 1.0 | 2.5 | 5.0 | 10.0 | 25.0 |
| ? | 高 | 3.2 | 4.0 | 10.0 | 20.0 | 40.0 | 100.0 |
| 標準物鏡 | 2.5X |
| 可選物鏡 | 0.8X,1.0X,5X,10X |
| 照明 | LED 背光,LED 同軸面光 |
| 可選特征 | 多色可編程環(huán)形光源 |
| ? | Ronchi 柵格自動ju jiao |
| ? | TTL激光 |
| ? | 光譜探針 |
| ? | 旋轉工作臺 |
| ? | 兆像素數(shù)碼相機 |
| ? | 高速測量和連續(xù)圖像獲取 |
特征:
-測量范圍:450 x 450 x 150 mm或450 x 600 x150 mm
- 50公斤承載力
-亞微米的光柵尺分辨率
-平臺移動速度X-Y:200 mm/秒; Z:100 mm/秒
-可選的X-Y無阻力線性馬達驅動，平臺速度400 mm/秒
-誤差映射:在XY平面非線性二維糾錯
-雙重放大光學系統(tǒng)，固定鏡頭，內部放大1-4倍
-可編程LED平臺背光及同軸表面光照明
-可編程多色（紅、藍、綠、復合白色）環(huán)形燈(PRL)選項
- TTL激光選項，具有自動ju jiao和掃描功能
-三角和共焦激光位移傳感器選項
- SpectraProbeTM高分辨率彩色傳感器選項
-先進的圖像處理性能，快速、精確、穩(wěn)健
-雙通道，數(shù)字式，1.4兆像素的單色相機; 4:1的比例
-次像素精度:1/10 - 1/50 pixel
-獨立的Anthro Cart Operator工作站，90 x 90 x128 cm;40kg
-可選配一體式可調節(jié)高度的工作站活動臂及平臺，上可放置平板顯示器、鍵盤鼠標及周邊設備
-強大的測量軟件和數(shù)據(jù)分析工具可供選擇
-平均無故障工作時間MTBF ≥ 8,000小時
Summit的應用范圍包括:
半導體/電子
PCB板與Stencil
光罩
引線框，引線接合，柔性線路板，連接器
SMT元件貼裝
錫膏/環(huán)氧數(shù)脂膠點
xin片載體和托盒
噴墨打印機墨盒
數(shù)據(jù)存儲
磁盤介質基板
滑塊和懸臂組(HGA)
Wafer carriers and row bar pallets
精密注塑和機加工件
模具和刀具
醫(yī)療設備
燃料噴射部件
手表組件